據報中芯國際正測試國產DUV光刻機

17/9/2025 9:50

據報中芯國際(00981)正測試首台國產深紫外(DUV)光刻機，以用於製造人工智能晶片。

英國《金融時報》引述消息人士報道，中芯國際正在測試由上海初創企業--宇量昇科技製造的一部DUV光刻機，雖然設備大部分組件已實現國產化，但部分零部件仍然需要進口，目前公司正努力推進所有部件國產化。

報道指出，有關光刻機早期試驗結果令人鼓舞，但當未確定最終能否投入量產。

DUV光刻機主要用作製造7納米以上製程的晶片，與更先進的極紫外(EUV)光刻機一樣，目前市場由荷蘭的ASML佔壟斷地位。