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    日期：

    內地首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試

    14/8/2025 11:16
    《杭州日報》報道，近日全國首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試，精度比肩國際主流設備。

    報道指，在測試現場，浙大餘杭量子研究院相關團隊忙著進行應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數，形容光刻機是一支能在頭髮絲上，雕刻出整座城市地圖的「納米神筆」。

    報道表示，「羲之」是研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機，目前已正式投入市場。


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